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半導體零件

半導體零部件是半導體設備的關鍵構成，據(jù)不全部統(tǒng)計，目前行業(yè)里關于半導體零部件的種類劃分尚未形成標準，目前主要有以下幾種分類...

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產品描述

半導體零部件是半導體設備的關鍵構成，據(jù)不全部統(tǒng)計，目前行業(yè)里關于半導體零部件的種類劃分尚未形成標準，目前主要有以下幾種分類方法。

按照典型集成電路設備腔體內部流程來分，零部件可以分為五大類：電源和射頻控制類、氣體輸送類、真空控制類、溫度控制類、傳送裝置類。其中電源和射頻控制類包括射頻發(fā)生器和匹配器、直流/交流電源等。氣體輸送類主要包括流量控制器、氣動部件、氣體過濾器等。真空控制類包括干泵/冷泵/分子泵等各種真空泵、控制閥/鐘擺閥等各類閥件、壓力計以及O-Ring密封圈。溫度控制類則包括加熱盤/靜電吸盤、熱交換器及升降組件。傳送裝置類包括機械手臂、EFEM、軸承、細致軌道、步進馬達等。

按照半導體零部件的主要材料和使用功能來分，可以將其分為十二大類，包括硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金屬件、石墨件、塑料件、真空件、密封件、過濾部件、運動部件、電控部件以及其他部件。其中各大類零部件還包括若干細分產品，例如在真空件里就包括真空規(guī)（測量工藝真空）、真空壓力計、氣體流量計（MFC）、真空閥件、真空泵等多種關鍵零部件。

按照半導體零部件服務對象來分，半導體核心零部件可以分為兩種，即細致機加件和通用外購件[1]。細致機加件通常由各個半導體設備公司的工程師自行設計，然后委外加工，只會用于自己公司的設備上，如工藝腔室、傳輸腔室等，國產化相對容易，一般對其表面處理、細致機加工等工藝技術的要求較高；通用外購件則是一些經過長時間驗證，深受眾多設備廠和制造廠廣泛認可的通用零部件，具有標準化，會被不同的設備公司使用，也會被作為產線上的備件耗材來使用，例如硅結構件、O-Ring密封圈、閥門、規(guī)（Gauge）、泵、Face plate、氣體噴淋頭Shower head等，由于這類部件具備較強的通用性和一致性，并且需要深受設備、制造產線上的認證。